నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్

From LTRC
పేర్లు
IUPAC పేరు నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్
ఇతర పేర్లు నైట్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ ట్రైఫ్లోరమైన్ ట్రైఫ్లోరమ్మోనియా
గుర్తింపు సంఖ్యలు
CAS సంఖ్య 7783-54-2
ChEBI CHEBI:30231
ChemSpider 22959
ECHA ఇన్ఫోకార్డ్ 100.029.097
EC సంఖ్య 232-007-1
Gmelin రిఫరెన్స్ 1551
PubChem CID 24553
RTECS సంఖ్య QX1925000
UNII 4402F4X0RH
UN సంఖ్య 2451
CompTox డాష్‌బోర్డ్ ( EPA ) DTXSID4040181
InChI InChI=1S/F3N/c1-4(2)3
Key: GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYSA-N
InChI=1/F3N/c1-4(2)3
Key: GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYAA
SMILES FN(F)F
ధర్మాలు
రసాయన ఫార్ములా NF3
మోలార్ ద్రవ్యరాశి 71.00 g/mol
రూపం రంగులేని వాయువు
వాసన బూజు వాసన
సాంద్రత 3.003 kg/m (1 atm, 15 °C)
1.885 g/cm (ద్రవం, మరిగే స్థానం వద్ద)
ద్రవీభవన స్థానం −207.15 °C (−340.87 °F; 66.00 K)
మరిగే స్థానం −129.06 °C (−200.31 °F; 144.09 K)
నీటిలో ద్రావణీయత 0.021 g/100 mL
బాష్ప పీడనం 44.0 atm(−38.5 °F లేదా −39.2 °C లేదా 234.0 K)
వక్రీభవన గుణకం ( n D ) 1.0004
నిర్మాణం
అణు ఆకృతి ట్రైగోనల్ పిరమిడల్
డైపోల్ మొమెంట్ 0.234 D
థర్మోకెమిస్ట్రీ
ఉష్ణ సామర్థ్యం ( C ) 53.26 J/(mol·K)
ప్రామాణిక మోలార్ ఎంట్రోపీ ( S 298 ) 260.3 J/(mol·K)
ప్రామాణిక సంయోగ ఉష్ణశక్తి (Δ f H 298 ) −31.4 kcal/mol
−109 kJ/mol
గిబ్స్ స్వేచ్ఛా శక్తి (Δ f G ) −84.4 kJ/mol
ప్రమాదాలు
GHS లేబులింగ్ :
పిక్టోగ్రామ్‌లు ‹ దిగువన ఉన్న టెంప్లేట్ (GHS ఫ్లేమ్ ఓవర్ సర్కిల్) GHS పిక్టోగ్రామ్‌తో విలీనం చేయడానికి పరిశీలనలో ఉంది. ఏకాభిప్రాయం కోసం చర్చా పేజీలను చూడండి. ›‹ దిగువన ఉన్న టెంప్లేట్ (GHS గ్యాస్ సిలిండర్) GHS పిక్టోగ్రామ్‌తో విలీనం చేయడానికి పరిశీలనలో ఉంది. ఏకాభిప్రాయం కోసం చర్చా పేజీలను చూడండి. ›‹ దిగువన ఉన్న టెంప్లేట్ (GHS ఎక్స్‌క్లమేషన్ మార్క్) GHS పిక్టోగ్రామ్‌తో విలీనం చేయడానికి పరిశీలనలో ఉంది. ఏకాభిప్రాయం కోసం చర్చా పేజీలను చూడండి. ›
ప్రమాద సూచికలు H270, H280, H332, H373
జాగ్రత్త సూచికలు P220, P244, P260, P304+P340, P315, P370+P376, P403
NFPA 704 (ఫైర్ డైమండ్) 1
0
0OX
ఫ్లాష్ పాయింట్ మండే స్వభావం లేనిది
ప్రాణాంతక మోతాదు లేదా గాఢత (LD, LC):
LC 50 ( మధ్యస్థ గాఢత ) 2000 ppm (ఎలుక, 4 గంటలు)
9600 ppm (కుక్క, 1 గంట)
7500 ppm (కోతి, 1 గంట)
6700 ppm (ఎలుక, 1 గంట)
7500 ppm (ఎలుక, 1 గంట)
NIOSH (US ఆరోగ్య ఎక్స్‌పోజర్ పరిమితులు):
PEL (అనుమతించదగినది) TWA 10 ppm (29 mg/m)
REL (సిఫార్సు చేయబడినది) TWA 10 ppm (29 mg/m)
IDLH (తక్షణ ప్రమాదం) 1000 ppm
సేఫ్టీ డేటా షీట్ (SDS) AirLiquide
సంబంధిత సమ్మేళనాలు
ఇతర యానయాన్లు నైట్రోజన్ ట్రైక్లోరైడ్
నైట్రోజన్ ట్రైబ్రోమైడ్
నైట్రోజన్ ట్రైఅయోడైడ్
అమ్మోనియా
ఇతర కాటయాన్లు ఫాస్పరస్ ట్రైఫ్లోరైడ్
ఆర్సెనిక్ ట్రైఫ్లోరైడ్
యాంటిమోనీ ట్రైఫ్లోరైడ్
బిస్మత్ ట్రైఫ్లోరైడ్
సంబంధిత బైనరీ ఫ్లోరో-అజేన్లు టెట్రాఫ్లోరోహైడ్రాజైన్
సంబంధిత సమ్మేళనాలు డై నైట్రోజన్ డైఫ్లోరైడ్
పేర్కొన్నవి తప్ప, డేటా ప్రామాణిక స్థితిలో (25 °C [77 °F], 100 kPa వద్ద) ఇవ్వబడింది. Y సరిచూడండి ( ఏమిటి ?) ఇన్ఫోబాక్స్ రిఫరెన్స్‌లు standard state (at 25 °C [77 °F], 100 kPa). Y verify ( what is ?) Infobox references

నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ అనేది (3) ఫార్ములా కలిగిన ఒక అకర్బన సమ్మేళనం (inorganic compound). ఇది రంగులేని, మండే స్వభావం లేని, స్వల్పంగా ఘాటైన వాసన కలిగిన విషపూరిత వాయువు. అమ్మోనియాతో పోలిస్తే, ఇది క్షారగుణం లేనిది (nonbasic). ఇది ఫ్లాట్-ప్యానెల్ డిస్‌ప్లేలు, ఫోటోవోల్టాయిక్లు, LEDలు మరియు ఇతర మైక్రోఎలక్ట్రానిక్స్ తయారీలో పెరుగుతున్న వినియోగాన్ని కలిగి ఉంది.[1] 3 ఒక గ్రీన్‌హౌస్ వాయువు, ఇది 100 సంవత్సరాల కాలంతో పోల్చినప్పుడు 2 కంటే 17,200 రెట్లు ఎక్కువ గ్లోబల్ వార్మింగ్ పొటెన్షియల్ (GWP)ని కలిగి ఉంటుంది.[2][3][4]

సంశ్లేషణ మరియు చర్యాశీలత

నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్‌ను విద్యుత్ ఉత్సర్గం (electric discharge) సమక్షంలో మూలకాల నుండి తయారు చేయవచ్చు.[5] 1903లో, ఆటో రఫ్ (Otto Ruff) అమ్మోనియం ఫ్లోరైడ్ మరియు హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ల ద్రవీభవన మిశ్రమాన్ని విద్యుద్విశ్లేషణ చేయడం ద్వారా నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్‌ను తయారు చేశారు.[6] ఇది ఇతర నైట్రోజన్ ట్రైహాలైడ్లైన నైట్రోజన్ ట్రైక్లోరైడ్, నైట్రోజన్ ట్రైబ్రోమైడ్, మరియు నైట్రోజన్ ట్రైఅయోడైడ్ల కంటే చాలా తక్కువ చర్యాశీలతను కలిగి ఉంటుంది, ఇవన్నీ పేలుడు స్వభావం కలవి. నైట్రోజన్ ట్రైహాలైడ్లలో ఇది మాత్రమే ప్రతికూల ఎంతాల్పీ ఆఫ్ ఫార్మేషన్ (enthalpy of formation) కలిగి ఉంటుంది. ఆధునిక కాలంలో దీనిని అమ్మోనియా మరియు ఫ్లోరిన్ల ప్రత్యక్ష చర్య ద్వారా మరియు రఫ్ పద్ధతి యొక్క మార్పు ద్వారా తయారు చేస్తారు.[1] దీనిని ఒత్తిడితో కూడిన సిలిండర్లలో సరఫరా చేస్తారు.

3 నీటిలో రసాయన చర్యకు లోనుకాకుండా స్వల్పంగా కరుగుతుంది. ఇది 0.2340 D తక్కువ బాండ్ డైపోల్ మూమెంట్ (Bond dipole moment) తో క్షారగుణం లేకుండా ఉంటుంది. దీనికి విరుద్ధంగా, అమ్మోనియా క్షారగుణాన్ని కలిగి ఉండి అత్యంత ధ్రువణతను (1.47 D) కలిగి ఉంటుంది.[7] ఈ వ్యత్యాసం H మరియు F ల విభిన్న ఎలక్ట్రోనెగటివిటీలను ప్రతిబింబిస్తుంది.

డైఆక్సిజన్ మాదిరిగానే, NF3 ఒక శక్తివంతమైన కానీ మందకొడి ఆక్సిడైజర్.[1] ఇది హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్‌ను క్లోరిన్‌గా ఆక్సీకరణం చేస్తుంది:

2 NF3 + 6 HCl → 6 HF + N2 + 3 Cl2

అయితే, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద మాత్రమే సేంద్రీయ సమ్మేళనాలపై (పేలుడుతో) దాడి చేస్తుంది. తత్ఫలితంగా, ఇది ప్రామాణిక పరిస్థితులలో అనేక ప్లాస్టిక్‌లతో పాటు ఉక్కు మరియు మోనెల్ (Monel) తో అనుకూలంగా ఉంటుంది.[1]

200-300 °C కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రత వద్ద, NF3 లోహాలు, కార్బన్ మరియు ఇతర కారకాలతో చర్య జరిపి టెట్రాఫ్లోరోహైడ్రాజైన్ను ఇస్తుంది:[8]

2NF3 + Cu -> N2F4 + CuF2

NF3 ఫ్లోరిన్ మరియు యాంటిమోనీ పెంటాఫ్లోరైడ్తో చర్య జరిపి టెట్రాఫ్లోరోఅమ్మోనియం ఉప్పును ఇస్తుంది:[1]

NF3 + F2 + SbF5 → NFSbF

NF3 మరియు B2H6 క్రయోజెనిక్ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద కూడా తీవ్రంగా చర్య జరిపి నైట్రోజన్ వాయువు, బోరాన్ ట్రైఫ్లోరైడ్, మరియు హైడ్రోఫ్లోరిక్ యాసిడ్ను ఇస్తాయి.[9]

అనువర్తనాలు

DRAM కంప్యూటర్ మెమరీ ఉత్పత్తి, ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్‌ప్లేల తయారీ మరియు థిన్-ఫిల్మ్ సోలార్ సెల్ల భారీ ఉత్పత్తి వంటి అధిక-పరిమాణ అనువర్తనాలు 3ని ఉపయోగిస్తాయి.[10][11]

ఎచింగ్ (Etching)

ప్రధాన వ్యాసం: Etching (microfabrication) LCDలు, కొన్ని థిన్-ఫిల్మ్ సోలార్ సెల్లు మరియు ఇతర మైక్రోఎలక్ట్రానిక్స్ వంటి సెమీకండక్టర్ పరికరాల తయారీలో సిలికాన్ మరియు సిలికాన్-సమ్మేళనాలను తొలగించడానికి నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ ప్రధానంగా ఉపయోగించబడుతుంది. ఈ అనువర్తనాల్లో 3 మొదట ప్లాస్మాలో విచ్ఛిన్నం చేయబడుతుంది. ఫలితంగా వచ్చే ఫ్లోరిన్ రాడికల్స్ పాలిసిలికాన్, సిలికాన్ నైట్రైడ్ మరియు సిలికాన్ ఆక్సైడ్లపై దాడి చేసే క్రియాశీల కారకాలు. వీటిని టంగ్‌స్టన్ సిలిసైడ్, టంగ్‌స్టన్, మరియు కొన్ని ఇతర లోహాలను తొలగించడానికి కూడా ఉపయోగించవచ్చు. పరికరాల తయారీలో ఎచెంట్గా పనిచేయడమే కాకుండా, 3ని PECVD ఛాంబర్‌లను శుభ్రం చేయడానికి కూడా విస్తృతంగా ఉపయోగిస్తారు.

3 పెర్‌ఫ్లోరినేటెడ్ సమ్మేళనాలు (PFCs) మరియు సల్ఫర్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (6) తో పోలిస్తే తక్కువ-పీడన ఉత్సర్గం (low-pressure discharge) లో మరింత సులభంగా విచ్ఛిన్నం చెందుతుంది. తద్వారా ఉత్పన్నమయ్యే ప్రతికూల చార్జ్ కలిగిన ఫ్రీ రాడికల్స్ యొక్క అధిక లభ్యత సిలికాన్ తొలగింపు రేట్లను పెంచుతుంది, మరియు తయారీలో ఉన్న పరికరంపై తక్కువ అవశేష కాలుష్యం మరియు తక్కువ నికర చార్జ్ ఒత్తిడి వంటి ఇతర ప్రక్రియ ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది. మరింత సమగ్రంగా వినియోగించబడే ఎచింగ్ మరియు క్లీనింగ్ ఏజెంట్‌గా, NF3ని 6 లేదా హెక్సాఫ్లోరోఈథేన్ వంటి PFCలకు పర్యావరణపరంగా మెరుగైన ప్రత్యామ్నాయంగా ప్రచారం చేయబడింది.[12]

ప్లాస్మా ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే రసాయనాల వినియోగ సామర్థ్యం పరికరాలు మరియు అనువర్తనాల మధ్య విస్తృతంగా మారుతూ ఉంటుంది. రియాక్టెంట్లలో గణనీయమైన భాగం ఎగ్జాస్ట్ స్ట్రీమ్‌లోకి వృధా అవుతుంది మరియు చివరికి భూమి వాతావరణంలోకి విడుదల కావచ్చు. ఆధునిక అబేట్‌మెంట్ సిస్టమ్స్ వాతావరణ ఉద్గారాలను గణనీయంగా తగ్గించగలవు.[13] 3పై గణనీయమైన వినియోగ పరిమితులు లేవు. వాతావరణంలో గమనించిన పెరుగుదల మరియు అంతర్జాతీయ క్యోటో ప్రోటోకాల్కు ప్రతిస్పందనగా అనేక పారిశ్రామిక దేశాలలో పెద్ద తయారీదారులచే 3 ఉత్పత్తి, వినియోగం మరియు వ్యర్థ ఉద్గారాల వార్షిక నివేదిక తప్పనిసరి చేయబడింది.[14]

అత్యంత విషపూరితమైన ఫ్లోరిన్ వాయువు (F2, డయాటోమిక్ ఫ్లోరిన్) కొన్ని తయారీ అనువర్తనాల్లో నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్‌కు క్లైమేట్ న్యూట్రల్ ప్రత్యామ్నాయం. దీనికి మరింత కఠినమైన నిర్వహణ మరియు భద్రతా జాగ్రత్తలు అవసరం, ముఖ్యంగా తయారీ సిబ్బందిని రక్షించడానికి.[15]

నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ మరియు డ్యూటీరియం ఫ్లోరైడ్ లేజర్లలో కూడా ఉపయోగించబడుతుంది, ఇవి కెమికల్ లేజర్ల రకాలు. అక్కడ కూడా దీనిని మరింత సౌకర్యవంతమైన నిర్వహణ లక్షణాల కారణంగా ఫ్లోరిన్ వాయువు కంటే ఎక్కువగా ఇష్టపడతారు.

గ్రీన్‌హౌస్ వాయువు

[16] 3 యొక్క GWP, క్యోటో-గుర్తింపు పొందిన గ్రీన్‌హౌస్ వాయువుల సమూహంలో 6 తర్వాత రెండవ స్థానంలో ఉంది, మరియు 3 2013 నుండి మరియు క్యోటో ప్రోటోకాల్ యొక్క రెండవ నిబద్ధత కాలం ప్రారంభంతో ఆ సమూహంలో చేర్చబడింది. ఇది 740 సంవత్సరాల అంచనా వేయబడిన వాతావరణ జీవితకాలం కలిగి ఉంది,[2] అయితే ఇతర పరిశోధనలు 550 సంవత్సరాల స్వల్ప జీవితకాలం (మరియు 16,800 యొక్క సంబంధిత GWP) సూచిస్తున్నాయి.[10]

[17]

1992 నుండి, 100 టన్నుల కంటే తక్కువ ఉత్పత్తి జరిగినప్పుడు, ఉత్పత్తి 2007లో సుమారు 4000 టన్నులకు పెరిగింది మరియు గణనీయంగా పెరుగుతుందని అంచనా వేయబడింది.[10] NF3 ప్రపంచ ఉత్పత్తి 2010 నాటికి సంవత్సరానికి 8000 టన్నులకు చేరుకుంటుందని అంచనా. 3 యొక్క ప్రపంచంలోనే అతిపెద్ద ఉత్పత్తిదారు అమెరికా పారిశ్రామిక వాయువు మరియు రసాయన సంస్థ ఎయిర్ ప్రొడక్ట్స్ & కెమికల్స్. ఉత్పత్తి చేయబడిన 3లో సుమారు 2% వాతావరణంలోకి విడుదలవుతుందని అంచనా.[18][19] రాబ్సన్ గరిష్ట వాతావరణ సాంద్రత వాల్యూమ్ ద్వారా 0.16 పార్ట్స్ పర్ ట్రిలియన్ (ppt) కంటే తక్కువగా ఉంటుందని అంచనా వేశారు, ఇది 0.001 Wm−2 కంటే తక్కువ IR ఫోర్సింగ్‌ను అందిస్తుంది.[20] NF3 యొక్క సగటు ప్రపంచ ట్రోపోస్పిరిక్ సాంద్రత 1980లో సుమారు 0.02 ppt (పార్ట్స్ పర్ ట్రిలియన్, డ్రై ఎయిర్ మోల్ ఫ్రాక్షన్) నుండి 2011లో 0.86 pptకి పెరిగింది, ఇది సంవత్సరానికి 0.095 ppt పెరుగుదల రేటుతో, లేదా సంవత్సరానికి సుమారు 11% పెరుగుదలతో ఉంది, మరియు ఇంటర్-హెమిస్పిరిక్ గ్రేడియంట్ ఉత్తరార్ధగోళంలో ఉద్గారాలు అధికంగా జరుగుతున్నాయని సూచిస్తుంది. 2011లో ఈ పెరుగుదల రేటు ప్రపంచవ్యాప్తంగా సుమారు 1200 మెట్రిక్ టన్నుల/సంవత్సరం NF3 ఉద్గారాలకు సమానం, లేదా NF3 ప్రపంచ ఉత్పత్తి అంచనాలలో సుమారు 10%. ఇది పరిశ్రమ అంచనా వేసిన దానికంటే గణనీయంగా ఎక్కువ శాతం, అందువల్ల NF3 ఉత్పత్తిని ఇన్వెంటరీ చేయడం మరియు దాని ఉద్గారాలను నియంత్రించడం కోసం వాదనను బలపరుస్తుంది.[21] పరిశ్రమ ప్రతినిధులు సహ-రచయితగా ఉన్న ఒక అధ్యయనం, థిన్-ఫిల్మ్ Si-సోలార్ సెల్ తయారీ యొక్క మొత్తం గ్రీన్‌హౌస్ వాయువు బడ్జెట్‌కు NF3 ఉద్గారాల సహకారం స్పష్టంగా ఉందని సూచిస్తుంది.[22]

UNFCCC, క్యోటో ప్రోటోకాల్ సందర్భంలో, 2012లో ప్రారంభమై 2017 లేదా 2020లో ముగిసే రెండవ క్యోటో ప్రోటోకాల్ సమ్మతి కాలంలో నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్‌ను చేర్చాలని నిర్ణయించింది. దీనిని అనుసరించి, WBCSD/WRI GHG ప్రోటోకాల్ తన అన్ని ప్రమాణాలను (కార్పొరేట్, ఉత్పత్తి మరియు స్కోప్ 3) NF3ని కూడా కవర్ చేసేలా సవరిస్తోంది.[23]

భద్రత

3తో చర్మ సంబంధం ప్రమాదకరం కాదు, మరియు ఇది శ్లేష్మ పొరలు (mucous membranes) మరియు కళ్ళకు స్వల్పంగా చికాకు కలిగిస్తుంది. ఇది నైట్రోజన్ ఆక్సైడ్ల కంటే చాలా తక్కువ విషపూరిత సామర్థ్యం కలిగిన పల్మనరీ ఇరిటెంట్, మరియు పీల్చడం ద్వారా అధికంగా బహిర్గతం కావడం వల్ల రక్తంలోని హిమోగ్లోబిన్ మెథెమోగ్లోబిన్గా మారుతుంది, ఇది మెథెమోగ్లోబినిమియా అనే పరిస్థితికి దారితీస్తుంది.[24] నేషనల్ ఇన్‌స్టిట్యూట్ ఫర్ ఆక్యుపేషనల్ సేఫ్టీ అండ్ హెల్త్ (NIOSH) ప్రాణానికి లేదా ఆరోగ్యానికి తక్షణమే ప్రమాదకరమైన సాంద్రత (IDLH విలువ) 1,000 ppm అని పేర్కొంది.[25]

ఇవి కూడా చూడండి

గమనికలు


ప్రస్తావనలు

  1. ↑ 1.0 1.1 1.2 1.3 1.4 Philip B. Henderson, Andrew J. Woytek "Fluorine Compounds, Inorganic, Nitrogen" in Kirk‑Othmer Encyclopedia of Chemical Technology, 1994, John Wiley & Sons, NY. 10.1002/0471238961.1409201808051404.a01 Article Online Posting Date: December 4, 2000
  2. ↑ 2.0 2.1 Climate Change 2007: The Physical Sciences Basis. IPCC.
  3. ↑ Robson, J. I.. (2006). "Revised IR spectrum, radiative efficiency and global warming potential of nitrogen trifluoride". Geophys. Res. Lett.. 33 (10) L10817. doi:10.1029/2006GL026210.
  4. ↑ Richard Morgan. (2008-09-01). Beyond Carbon: Scientists Worry About Nitrogen's Effects. The New York Times.
  5. ↑ (1995). 442–455. ISBN 978-1-56700-041-2.
  6. ↑ Otto Ruff, Joseph Fischer, Fritz Luft. (1928). "Das Stickstoff-3-fluorid". Zeitschrift für Anorganische und Allgemeine Chemie. 172 (1) 417–425. doi:10.1002/zaac.19281720132.
  7. ↑ (2006). "Nitrogen–fluorine compounds". Journal of Fluorine Chemistry. 127 (6) 679–687. doi:10.1016/j.jfluchem.2006.03.001.
  8. ↑ (1967). "Derivatives of Nitrogen Fluorides". Chemical Reviews. 67 (6) 665–680. doi:10.1021/cr60250a004.
  9. ↑ Parry, Robert W., and Thomas C. Bissot. "The Preparation and Properties of Phosphorus Trifluoride-Borane and Phosphorus Trifluoride-Borane-d31." Journal of the American Chemical Society 78, no. 8 (1956): 1524-1527.
  10. ↑ 10.0 10.1 10.2 Prather, M.J.. (2008). 3, the greenhouse gas missing from Kyoto. Geophys. Res. Lett.. 35 (12) L12810. doi:10.1029/2008GL034542.
  11. ↑ Tsai, W.-T.. (2008). "Environmental and health risk analysis of nitrogen trifluoride (3), a toxic and potent greenhouse gas". J. Hazard. Mater.. 159 (2–3) 257–63. doi:10.1016/j.jhazmat.2008.02.023.
  12. ↑ H. Reichardt, A. Frenzel and K. Schober. (2001). "Environmentally friendly wafer production: 3 remote microwave plasma for chamber cleaning". Microelectronic Engineering. 56 (1–2) 73–76. doi:10.1016/S0167-9317(00)00505-0.
  13. ↑ (2016-09-30). F-GHG Emissions Reduction Efforts: Flat Panel Display Supplier Profiles. U.S. EPA.
  14. ↑ (27 September 2015). Fluorinated Greenhouse Gas Emissions and Supplies Reported to the Greenhouse Gas Reporting Program (GHGRP). U.S. Environmental Protection Agency.
  15. ↑ (2009). "Etch performance of Ar/N2/F2 for CVD/ALD chamber clean". Solid State Technology. 52 (2) 20–24.
  16. ↑ (27 June 2016). Climate Change Indicators: Atmospheric Concentrations of Greenhouse Gases - Figure 4. U.S. Environmental Protection Agency.
  17. ↑ (2020-06-30). Atmospheric Flask NF3. National Oceanic and Atmospheric Administration.
  18. ↑ M. Roosevelt. (2008-07-08). A climate threat from flat TVs, microchips. Los Angeles Times.
  19. ↑ Hoag, Hannah. (2008-07-10). The Missing Greenhouse Gas. Nature Reports Climate Change. 1 (808) 99–100. doi:10.1038/climate.2008.72.
  20. ↑ Robson, Jon. Nitrogen trifluoride (NF3). Royal Meteorological Society.
  21. ↑ (2013-02-05). "Nitrogen trifluoride global emissions estimated from updated atmospheric measurements". Proc. Natl. Acad. Sci. USA. 110 (6) 2029–2034. doi:10.1073/pnas.1212346110.
  22. ↑ (2010-10-25). "Life-Cycle Nitrogen Trifluoride Emissions from Photovoltaics". Environ. Sci. Technol.. 44 (22) 8750–7. doi:10.1021/es100401y.
  23. ↑ Rivers, Ali. (2012-08-15). Nitrogen trifluoride: the new mandatory Kyoto Protocol greenhouse gas. Ecometrica.com.
  24. ↑ Malik, Yogender. (2008-07-03). Nitrogen trifluoride – Cleaning up in electronic applications. Gasworld.
  25. ↑ (2 November 2018). Immediately Dangerous to Life or Health Concentrations (IDLH): Nitrogen Trifluoride. National Institute for Occupational Safety and Health.

బాహ్య లింకులు

మూలం: ఇంగ్లీష్ వికీపీడియాలోని “Nitrogen trifluoride” వ్యాసానికి అనువాదం. మూల వ్యాసం: https://en.wikipedia.org/wiki/Nitrogen_trifluoride ఈ అనువాదం స్వయంచాలకంగా రూపొందించబడింది.

Retrieved from "https://ltrc.sciwiki.in/index.php?title=నైట్రోజన్_ట్రైఫ్లోరైడ్&oldid=3574"